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          • 2004

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          FS1015CL系列氣體質量流量傳感器是專門為各類醫學用氣體的測量和過程控制而設計的。產品采用本公司自主研發的微機電系統(MEMS)流量傳感芯片來制作,適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償,可替代容積式或壓差式的傳統流量計。測量范圍最大到150SLPM,ISO15mm連接方式適用于呼吸機、麻醉機等多種醫療設備。
          FS4001系列氣體流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發的微機電系統(MEMS)流量傳感芯片來制作,適用于各類清潔氣體。獨特的封裝技術使之可用于各類管徑,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償,可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器。
          FS4003/08系列氣體質量流量傳感器是專為普通氣體流量檢測開發的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量,不需要旁路設置,壓損小。該傳感器既可用于凈化行業中空氣或氮氣的流量監控,也可用于環境檢測行業(如大氣采樣器)和分析儀器(如色譜分析儀)等。FS4003,管道內徑為3mm,測量范圍最大到5SLPM;適用于粒子計數器和各類分析儀器。FS4008,管道內徑為8mm,測量范圍最大到50SLPM;可用于氣體測量和控制設備、麻醉機、環境檢測儀、大氣采樣器和各類分析儀器。
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          矽翔微機電系統有限公司(矽翔公司,Siargo Ltd. )
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